氣動量儀通常由已知長度部分、定位瞄準部分、放大細分部分、顯示記錄部分以及計算部分等組成。量儀種類繁多，按工作原理可分為:①機械式量儀。如杠桿-齒輪式比較儀、扭簧比較儀和測微儀等。②光學量儀。如測微自準直儀、測角比較儀、平直度檢查儀、立式光學計、臥式光學計、超級光學計、立式測長儀、測長儀、工具顯微鏡、投影儀、接觸式干涉儀、激光干涉儀、激光干涉比長儀和光學分度頭等。③電動量儀。如電動測微儀、靜態光電顯微鏡、動態光電顯微鏡、光電準直光管、電感式比較儀、電容式比較儀、輪廓儀和圓度儀等。④氣動量儀。如低壓水柱式氣動量儀、差壓水柱式氣動量儀、差壓水銀柱式氣動量儀、高壓薄膜式氣動量儀、波紋管式氣動量儀和流量式氣動量儀(浮標式氣動量儀)等。另外，量儀也可按用途等進行分類。氣動量儀精度評定方法主要有檢定法、比對法和誤差分離法等。